|
|
|
|
TCU (200mm) |
l Back
l |
|
| 1. |
Function |
 |
|
TCU 고장시 Main 장비 다운을 최소화 |
|
Pump의 Dual 장착으로 고장시 자동 교환됨 |
|
Cooling System(TEM-Block)의 Dual 장착으로 고장시 자동 교환됨 |
|
D.I Water의 자동 Refill 기능 |
|
장비의 상태를 실시간 Check 하여 Display함 |
|
±0.01℃의 온도 제어 기능 |
|
자가 진단(Self Diagnostic) |
|
| 2. |
구성도 |
|
 |
| 3. |
사양 |
|
| Model |
TK-ST(single) |
TK-3000-ABS-1(Stepper) |
TK-300-ABS-2(Scanner) |
| TEMP. Range |
+16.5℃ ~ +27.5℃ |
| TEMP.Stability |
±0.01℃ |
| Cooling Capacity |
1500W at 22℃ |
1500W at 22℃ |
2500W at 22℃ |
| Heating Capacity |
3000 Watt |
| Max Flow Rate |
55 LPM |
| Pump |
2HP(1.5KW) |
2HP(1.5KW) × 2 Channels |
| Tank Capacity |
25L |
21L |
| Cooling Fluid |
D.I Water |
Temp. Control
& Display
|
Fuzzy & PID Control &
Touch Panel |
| Temp. Sensor |
RTD PT 100 OHM |
| Communication |
RS232C (ASML Protocol) |
| Material |
Stainless Steel Tank and Fitting |
| Dimension |
430*650*780
(W*D*H)
|
430*680*1050
(W*D*H)
|
| Weight |
175 Kg |
250 Kg |
255 Kg |
| Option |
Auto Refill |
Auto Backup System |
|
|
TCU (300mm) |
|
|
| 1. |
초정밀 온도 제어 장치 소개 |
|
| |
|
Lithography 용 초정밀 온도 제어 장치 소개
300mm Wafer Line의 생산성 및 효율증대를 위한 Lithography 장비의 차세대 Model에
사용되는 온도 제어 장치의 성능을 초정밀 제어를 요구하고 있으므로 이에 대응하는 성능의 장비를 출시하여 차세대
Line 증설 시장을 선점하기 위한 목적이 있다. 또한 외산 장비가 가지고 있는 문제점을 보완 및 새로운 기능
등을 추가하여 장비 성능 및 기능 면에서도 뛰어난 장비를 출시 하므로써 국내 뿐 아니라 세계 시장까지 석권
할 수 있는 장비를 출시 하는데 목적이 있다.
|
|
초 정밀 온도제어 장치 시스템 일반 구성도 |
| |
 |
|
초정밀 온도제어를 위한 특수 구조로 자체 설계 제작된 Tank에 고유량,
고양정의 Pump를 장착 하므로써 어떠한 위치에 설치하여도 원하는 유량과 압력으로 사용이 가능하도록
하였으며, 정밀 제어가 가능한 가열,냉각 System으로 구성하여 초정밀 제어를 실현하였다. |
|
|
|
| 2. |
Function |
 |
|
|
± 0.0001 ℃/5min 내의 온도안정도 |
|
뛰어난 내구성. |
|
쉬운 운전과 터치 스크린상의 손쉬운 시스템 상태 체크 |
|
환경친화적 |
|
자동 교체 시스템(2 Pump, 2 전기적 모듈) |
|
자동 D.I 보충 |
|
자동 D.I Flushing |
|
인공지능 온도제어 |
|
운전 중 장비수리 가능 |
|
3단계 알고리즘을 통한 자가 진단 기능 |
|
| 3. |
specification |
|
| MODEL |
AT-MCWC (TK-TS12M) |
AT-LCWC (TK-TS12L) |
| TYPE |
Thermo Electric Cooling Unit |
| DIMENSION |
W560 x D1000 x H2000 |
| WEIGHT |
700Kg |
| TEMP RANGE |
5℃ ~ 30℃ |
| TEMP CONTROL STABILITY |
±0.001℃ ≤ 5min |
| DISPLAY UNIT |
5" Graphic Touch Panel |
| TEMP MEASURING SENSOR |
RTD pt1000Ω |
| LIQUID FLOW & PRESSURE |
150LPM at 6.1Kgf/㎠ |
| COOLING FLUID |
D.I.Water 100% |
| COOLING CAPACITY |
10,000w @ 22℃ |
2,500w @ 22℃ |
| HEATING CAPACITY |
2,000w @ 20℃ |
| POWER REQUIREMENT |
380V, 3Phase, 4Wire(R.S.T.N/G),
16A, 50/60Hz |
| TEMPERATURE CONTROLLER |
Digital PID Controlled |
| SYSTEM CONTROLLER |
Digital/Self Diagnosis Function |
| TANK VOLUME |
70ℓ |
| PUMP |
8.5HP, Magnetic |
| MATERIAL |
Stainless Steel Tank and Fittings |
| COMMUNICATION & APPLICATION
|
RS-232C, ASML TWINSCAN™ |
| FACILITIES REQUIREMENT |
Normal Temperature Supply :
18~22℃ |
|
|
 |
|
