Hot chuck & Controller l Back l

1. Function
Water Test 장치의 Chuck의 온도를 일정하게 유지하는 온도 조절 장치 및
Chuck System
사용 Range에 따라 Hot & Cold System 과 Hot Chuck System으로 구분함
온도 안정성 ±0.1℃
이원 냉동 방식
자기 진단 기능
   
2. Specification
THERMO Chuck
MODEL Hot & Cold (TK-HC200) Hot Chuck (TK-H200)
Temp. Range -60℃ ~ +200℃ 23℃ ~ +200℃
Temp. Stability ±0.1℃
Temp. Accuracy ±0.1℃
Temp. Resolution 0.1℃
Temp. Uniformity Max≤15㎛
(-60℃~+200℃)		 Max≤15㎛
(23℃~+200℃)
Technology Heater/Cooler Liquid Type Cast in Heater
Chuck Top Plating
Gold / Nickel Plating
Surface Flatness
Surface/Base Parallelism
Surface/Base Expansion		 Max≤15㎛
(-60℃~+200℃)		 Max≤15㎛
(23℃~+200℃)